紫外线灯LED紫外线光照度计

曝光系统重要部件之一是紫外光源。常见光源分为:可见光：g线：436nm紫外光（UV），i线：365nm深紫外光（DUV）,KrF 准分子激光：248 nm, ArF 准分子激光：193 nm极紫外光（EUV），10 ~ 15 nm对光源系统的要求a.有适当的波长。波长越短，可曝光的特征尺寸就越小；[波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，刻蚀对于精度控制要求越高。]b.有足够的能量。能量越大，曝光时间就越短；c.曝光能量必须均匀地分布在曝光区。[一般采用光的均匀度或者叫不均匀度、光的平行度等概念来衡量光是否均匀分布]常用的紫外光光源是高压弧光灯（高压汞灯），高压汞灯有许多尖锐的光谱线，经过滤光后使用其中的g 线（436 nm）或i 线（365 nm）。对于波长更短的深紫外光光源，可以使用准分子激光。例如KrF 准分子激光（248 nm）、ArF 准分子激光（193 nm）和F2准分子激光（157 nm）等。曝光系统的功能主要有：平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。让紫外线深入半导体，开启全新可能。紫外线灯LED紫外线光照度计

扫描步进投影曝光（Scanning-Stepping Project Printing）。90年代末至今，用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4：1的比例曝光，曝光区域（Exposure Field）26×33mm。优点：增大了每次曝光的视场；提供硅片表面不平整的补偿；提高整个硅片的尺寸均匀性。但是，同时因为需要反向运动，增加了机械系统的精度要求。d. 高精度双面：主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和生产。高精度特制的翻版机构、双视场CCD显微显示系统、多点光源曝光头、真空管路系统、气路系统、直联式无油真空泵、防震工作台等组成。适用于φ100mm以下，厚度5mm以下的各种基片的对准曝光。紫外线灯UV-SN35i线步进式光刻机NSR-2205i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2011AL。

オーク製作所

紫外線光量計(Made in japan)

用途:OLED,LED,PCB,IC，LCD工厂，封装工艺中密封框胶水的固化。

特长：紫外线光固化，低能耗，无污染，高效率。

配合光量计，测量365nm峰值波长紫外线灯照度大小。

型番:UV-351

規格:測定波長:310～385nm

測定照度範囲:0.1～100ｍW/cm²

測定光量範囲:1～19999mJ/cm²

繰り返し精度:±1.5%以内

標準構成:

①光量计本体UV-351

②减光filter

③纽扣锂电池

④螺丝刀₋

⑤螺丝刀＋

⑥操作说明书

⑦除尘布

⑧收纳箱

半导体领域使用光刻机有5类：G线光刻机，使用高压汞灯作为光源，紫外线波长为436nm，产品分辨率500nm以上；I线光刻机，使用高压汞灯作为光源，紫外线波长为365nm，产品分辨率28nm以上；氟化氪(KrF)光刻机，使用氟化氪准分子激光(DUV)作为光源，紫外线波长为248nm，产品分辨率180nm；氟化氩光刻机，使用氟化氩准分子激光(DUV)作为光源，紫外线波长193nm；EUV光刻机，使用13.5nm极紫外线，产品分辨率，分辨率可达7nm；敝司代理光刻机使用的I线365nm高压汞灯紫外线。紫外线之光，半导体未来。

    紫外线固化uv胶，是利用UV紫外线光照射，固化感光材料的技术应用，被认为是一种环境友好的绿色技术，亦称3E技术，即节能（energy）、环保（environment）、经济（economy），主要应用于涂料、油墨、胶粘剂等领域。中文名紫外线固化uv胶简称简称UV技术主要应用主要应用于涂料、油墨应用于玻璃制品，PVC制品，聚亚酰胺制品等。紫外线固化技术（简称UV技术），被认为是一种环境友好的绿色技术，亦称3E技术，即节能（energy）、环保（environment）、经济（economy），主要应用于涂料、油墨、胶粘剂等领域。其中紫外线固化UV胶应用于玻璃制品与珠宝业、玻璃家俱、医疗器具、电子、电器、光电子、光学仪器、制造等领域，如印刷线路板、液晶显示面板，半导体集成电路，电子元器件等产品的制造。i线步进式光刻机NSR-2005i8用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率:2KW,型号：NLi-2000A-1。紫外线灯LED紫外线光照度计

以专业的紫外线灯，为半导体工业提供照明。紫外线灯LED紫外线光照度计

小型．軽量なハンティタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。紫外線ランプのUV照射量管理にご使用ください。露光装置の照度と光量の管理が手軽にできる小型・軽量のハンディタイプです。紫外線照度と光量が手軽に測定できます。受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてUV-25，35，42用をご選択いただきます。測定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。アナログ出力も備えています。紫外线灯LED紫外线光照度计